فتورزیست و انواع آن در الکترونیک

فتورزیست ها ترکیباتی هستند که حلالیت آنها بر اثر برخورد اشعه ماوراء بنفش به آن تغییر می کند.

ناحیه ای که نور به رزیست تابیده می شود ممکن است دچار حلالیت بیشتر و یا کمتر نسبت به ماده حلال شود که بر این اساس به دو نوع تقسیم بندی می شوند.
فتورزیست و انواع آن
فتورزیست مثبت

فتورزیست مثبت یک ماده غیر قابل حل است که در معرض نور، ساختار شیمیایی آن تغییر کرده و آن قسمت های نور دیده به ماده قابل حل تبدیل می شوند. وقتی از ماسک با زمینه روشن و فتورزیست مثبت که استفاده شود یک جزیره بوجود می آید.

فتورزیست مثبت و منفی
فتورزیست منفی

فتورزیست منفی یک ماده قابل حل است که در معرض نور، ساختار شیمیایی آن تغییر کرده و قسمت های نور دیده به ماده غیر قابل حل تبدیل می شوند.

مانند فتورزیست مثبت که از دو بخش پلیمر و قسمت حساس به نور تشکیل شده است. بعد از نوردهی ماده پلیمر حساس به نور، انرژی نوری را جذب کرده و آن را به انرژی شیمیایی تبدیل می کند تا واکنش زنجیری را آغاز کند.

این واکنش موجب به هم پیوستن مولکول های پلیمر می شود. پلیمر به هم پیوسته دارای وزن مولکولی بالاتری است و در محلول ظهور، غیر قابل حل می شود. در نتیجه ظهور، سطح نور ندیده را از بین می برد.

یک اشکال عمده رزیست نوری منفی این است که در روند ظهور، تمام جرم رزیست با جذب حلال ظهور متورم می شود. این عمل تورم تفکیک رزیست نوری منفی را محدود می کند. معمولا فتورزیست های منفی در محیط نیتروژن تحت تابش قرار می گیرند چون که اکسیژن ممکن است با ذرات فعال فتورزیست واکنش داده و مانع واکنش آنها با پلیمر شود.

انتخاب ماسک و نوع رزیست وابسته است به این که تا چه حدی می خواهیم ابعاد را کنترل کنیم و تا چه اندازه به محافظت از ایجاد ناکاملی در سطح ویفر است.



[ برچسب ها ] : , , , ,
ارسال شده در : بخش الکترونیک
نظر شما در مورد اين پست چيست ؟

دیدگاه خود را به ما بگویید.

 
 
  دکتری تخصصی برق الکترونیک
طراح مدارهای الکترونیکی
برنامه نویس انواع میکروها
مشاوره و اجرای لینک های وایرلس
پیاده سازی سیستم های مبتنی بر شبکه
E_mail: electronic@sabzelco.ir
Tel: 09150462401
توسعه دهنده برنامه های سمت سرور

طراحی و برنامه نویسی سایت و پرتال های حرفه ای

E_mail: computer@sabzelco.ir
Tel: 09371974233