عکس پیش‌فرض نوشته

لایه نشانی، بخش مهمی از ساخت مدارات مجتمع می باشد. که ما به بررسی لایه نشانی فیزیکی و انواع آن می پردازیم.
پروسه های لایه نشانی فیزیکی

چهار سیستم اصلی جهت لایه نشانی از طریق فیزیکی وجود دارد که عبارت اند از:

1-  فضای خلا تبخیر

2- لایه نشانی با روش جدا کردن (Sputtering Deposition)

3- Molecular Beam Epitaxy

4- لایه نشانی با خوشه ی یونیزه شده و یون های متمرکز شده

که در ادامه به توضیح هر یک می پردازیم.

 

1- فضای خلا تبخیر

طی این فرآیند، زمانی که ماده ی منبع (مانند آلومینیوم) تا دمایی بالاتر از نقطه ذوب آن در محفظه ی خلا گرما داده شود،

اتم های تبخیر شده با سرعت بالا در خطوط مستقیم منتشر شده و روی سطح ویفر نشانده می شوند. روش هایی که جهت گرم کردن منبع وجود دارد شامل مقاومت، RF و پرتو الکترونی می باشند.

 

2- لایه نشانی با روش جدا کردن (Sputtering Deposition)

یون ها در یک میدان الکتریکی به سمت ماده ای که قرار است نشانده شود، شتاب می گیرند و اتم های منبع را از آن جدا می کنند.

درواقع با اعمال یک میدان الکتریکی به یون ها انرژی داده می شود. در اثر برخورد با ماده، اتم های آن را جدا کرده و به سمت ویفر فرستد. اتم های منبع در نهایت روی ویفر نشانده می شوند.

یون مورد استفاده معمولا آرگون می باشد. یون های آرگون بی اثر بوده و معمولا به راحتی به حالت خالص یافت می شوند. انرژی یون باید به اندازه ای باشد که وارد ماده نشود و تنها اتم های آن را جدا کند که معمولا انرژی این یون ها در حدود 500 تا ev5000 می باشد.

در صورتی که ماده عایق باشد، لازم است منبع توان ac باشد، در غیر این صورت هدفی که با یون های مثبت بمباران می شد، در صورت عایق دار بودن، بار مثبت یون ها به ماده عایق منتقل می شود و سبب ایجاد یک میدان الکتریکی روی سطح ماده می شود و از ورود یون های جدید جلوگیری می کند.

استفاده از ولتاژ ac باعث می شود هم یون مثبت و هم الکترون جذب ماده شود. در پریود منفی، یون ها و در پریود مثبت، الکترون ها جذب ماده می شود و میدان الکتریکی به وجود نخواهد آمد.

این روش جهت نشاندن فلزاتی چون Ti و Pt و Mo و W و Au و نشاندن عایق هایی چون نیتراید سیلیکن ، اکسید سیلیکن و اکسید آلومینیوم مورد استفاده قرار می گیرد.

این روش در سیستم های مختلفی انجام می شود که در مطالب بعدی به ادامه بحث خواهیم پرداخت.

این آموزش بیش از ۳ سال قبل ارسال شده و اکنون در لیست به‌روزرسانی‌های سایت قرار دارد. اگر پیشنهاد یا انتقادی برای بهبود آموزش دارید، خوشحال می‌شیم به ما اطلاع بدهید.