کاشت یون در الکترونیک

امروزه با توجه به پیشرفت های صنعت نیمه هادی در زمینه های کاهش ابعاد ادوات نیمه هادی، افزایش تراکم مدارها بر روی تراشه و نیز استفاده ی گسترده تر از نیمه هادی هایی نظیر GaAs، استفاده از روش کاشت یونی گسترش چشمگیری داشته است.
کاشت یون در الکترونیک

 

در روش نفوذ باید تراکم اتم های ناخالصی که به سطح نیمه هادی وارد می شوند در حد قابلیت حل جامدی نیمه هادی حفظ شود.

این امر محدودیت هایی را در توزیع اتم های ناخالصی ایجاد می کند. از طرف دیگر زمان حرارت دادن در فرآیند نفوذ طولانی تر می باشد.

این امر باعث می شود که اتم های ناخالصی در نواحی که مورد نظر ما نمی باشد نفوذ کند. با توجه به محدودیت های فرآیند نفوذ روش کاشت یون مطرح شده است.

پارامترهای مهم در روش کاشت یون برای پیش بینی توزیع ناخالصی ها، مشخصات یون، نوع اتم های ویفر و انرژی اولیه یون می باشد در حالی که در روش نفوذ علاوه بر عوامل فوق، پارامترهای فشار، درجه حرارت و زمان نیز در توزیع ناخالصی ها نقش دارند.

از مزایا مهم روش کاشت یون، قابلیت کنترل دقیق توزیع اتم های ناخالصی و قابلیت تکرار آن می باشد. در فرآیند کاشت یون، یون های ناخالصی با انرژی کافی به سطح ویفر پرتاب می شوند.

انرژی این یون ها عموما بین ۱Kev تا ۱mev بوده و می توانند تا عمق متوسطی بین ۱۰۰ آنگسترم تا ۱۰ میکرومتر در داخل ویفر نفوذ نمایند. به دلیل انجام عملیات در محیط خلاء و به خصوص دمای پایین محیط آلودگی هایی که در روش های دیگر وجود دارد، در این روش ایجاد نمی گردد.

در روش کاشت یون، یون هایی از ناخالصی  دلخواهی که می خواهیم در ماده قرار دهیم را با مقدار مشخص، قابل کنترل و با انرژی قابل تنظیم ایجاد کرده، در مسیر مشخصی هدایت کرده و به سمت قطعه هدف می تابانیم.

بر حسب میزان انرژی و مقدار یون ها، نوع یون ها و نیز نوع آرایش شبکه ی هدف، می توان پروفیل دقیقی ایجاد نمود.



[ برچسب ها ] : , , , , ,
ارسال شده در : بخش الکترونیک
نظر شما در مورد اين پست چيست ؟

دیدگاه خود را به ما بگویید.

 
 
  دکتری تخصصی برق الکترونیک
طراح مدارهای الکترونیکی
برنامه نویس انواع میکروها
مشاوره و اجرای لینک های وایرلس
پیاده سازی سیستم های مبتنی بر شبکه
E_mail: electronic@sabzelco.ir
Tel: 09150462401
توسعه دهنده برنامه های سمت سرور

طراحی و برنامه نویسی سایت و پرتال های حرفه ای

E_mail: computer@sabzelco.ir
Tel: 09371974233