عکس پیش‌فرض نوشته

لایه نشانی، بخش مهمی از ساخت مدارات مجتمع می باشد. که ما به بررسی لایه نشانی فیزیکی و انواع آن می پردازیم.

چهار سیستم اصلی جهت لایه نشانی از طریق فیزیکی وجود دارد که در این بخش به دو روش دیگر از آن می پردازیم.
پروسه های لایه نشانی فیزیکی

دو روش قبلی آن در مطالب پروسه های لایه نشانی فیزیکی (1) و پروسه های لایه نشانی فیزیکی (2) بررسی شده اند.

3- Molecular Beam Epitaxy

در این روش یک پرتو از مولکول ها و یا اتم هایی که از منبع با بخار و یا سایر روش ها بیرون آمده اند، بدون برخورد، به سمت یک محفظه خلا فرستاده شده و روی سطح نیمه هادی نشانده می شوند.

منبع ویفر در یک محفظه ی خلا خیلی با کیفیت قرار دارند، تا بتوان کنترل کامل روی تک تک اتم هایی که می خواهند روی سطح بنشینند و حرکت آنها در یک مسیر خالی از سایر ذرات باشد، داشته باشیم. جهت تهیه چنین فضای خلا ای در آزمایشگاه نیاز به یک سری پمپ های قوی به نام توربو پمپ ها می باشد.

محفظه ی خلا دارای یک دریچه ی مخصوص برای ورود و خروج ویفر است. وارد کردن و خارج سازی ویفر از این دریچه طی دو مرحله صورت می پذیرد. در نتیجه برای هر بار ورود و هر بار خروج ویفر تنها کافی است یک محفظه ی کوچک خلا ایجاد کنیم.

 

4- لایه نشانی با خوشه ی یونیزه شده و یون های متمرکز شده

(Ionized Cluster and Focused Ion Beam Deposition)

یک خوشه شامل 100 تا 2000 اتم جمع شده می باشد. زمانی که خوشه با سطح ویفر برخورد می کند، خوشه به اتم های جدا تبدیل شده و روی سطح پخش و سپس نشانده می شود.

روش خوشه ها معمولا جهت نشاندن سیلیکون مورد استفاده قرار می گیرد. در صورتی که اتم های سیلیکون با انرژی اولیه به سطح ویفر فرستاده شوند و این انرژی اولیه ممکن است سبب نقص کریستال شود، فرستادن خوشه ای اتم ها که تنها یکی از آنها به صورت یون در آمده و به این مجموعه انرژی داده می شود از نقص کریستالی جلوگیری می کند.

جهت تشکیل خوشه اتم، اتم ها را تبخیر کرده و به حالت فوق اشباع در می آورند.

روش یون های متمرکز شده که از تکنیک های مختلفی جهت ساخت پرتوی از یون ها استفاده می کند به منظور لایه نشانی محلی (با دقت بالا) و همچنین خارج ساختن مواد مورد استفاده قرار می گیرد.

طبق این روش یون های ماده ای که می خواهند نشانده شود را به صورت پرتو باریکی در آورده و به سمت ویفر می فرستند. از کاربردهای این روش می توان به ساخت ادوات نانو و هم چنین تعمیر مدارات و تعمیر ماسک ها اشاره کرد.

این آموزش بیش از ۳ سال قبل ارسال شده و اکنون در لیست به‌روزرسانی‌های سایت قرار دارد. اگر پیشنهاد یا انتقادی برای بهبود آموزش دارید، خوشحال می‌شیم به ما اطلاع بدهید.