لیتوگرافی در الکترونیکلیتوگرافی که فرآیند متداولی در ساخت مدارهای مجتمع می باشد به منظور ایجاد الگوهایی متشکل از پنجره ها و جزیره ها روی سطح ویفر صورت می گیرد، پنجره های ایجادی در جهت فلز نشانی و doping …